1、氧分析儀在初次啟用前，應該對連接點，焊點，閥門等進行檢漏，以確保空氣中的氧不會反滲進入管道及儀器內部，造成測量數值偏高。
2、再次使用氧分析儀前，要進行管道系統凈化，將漏入的空氣吹除干凈，同時確保連接取樣管路時沒有漏入空氣。
3、樣氣中氧含量的變化會受管道材質及表面粗糙度影響，因此一般連接氧分析儀管路選用銅管或拋光過的不銹鋼管，而不要使用塑料管，橡膠管等。
4、在氧分析儀進行微量分析時，要避免各種管件，閥門，表頭等死角對樣氣造成污染，因此必須盡可能簡化氣路系統，連接件死角要小。威力防止溶解氧逸出造成污染，*好使用水封，油封及臘封等設備，才能確保數據準確。